Què és el tetrafluorur de carboni? De què serveix?

Què éstetrafluorur de carboni? De què serveix?

Tetrafluorur de carboni, també conegut com a tetrafluorometà, es considera un compost inorgànic. S'utilitza en el procés de gravat per plasma de diversos circuits integrats, i també s'utilitza com a gas làser i refrigerant. És relativament estable a temperatura i pressió normals, però cal evitar el contacte amb oxidants forts, materials inflamables o combustibles. El tetrafluorur de carboni és un gas no combustible. Si es troba amb una calor elevada, augmentarà la pressió interna del recipient i hi haurà perill d'esquerdes i explosions. En general, només pot interactuar amb reactiu metàl·lic líquid amoníac-sodi a temperatura ambient.

Tetrafluorur de carboniés actualment el gas de gravat per plasma més gran utilitzat en la indústria de la microelectrònica. Es pot utilitzar àmpliament en el gravat de silici, diòxid de silici, vidre fosfosilicat i altres materials de pel·lícula fina, neteja de la superfície de dispositius electrònics, producció de cèl·lules solars, tecnologia làser, aïllament en fase gasosa, refrigeració a baixa temperatura, agents de detecció de fuites, i els detergents en la producció de circuits impresos tenen un gran nombre d'aplicacions.


Hora de publicació: 01-nov-2021