Què és el tetrafluorur de carboni? Per a què serveix?

Què éstetrafluorur de carboniDe què serveix?

tetrafluorur de carboni, també conegut com a tetrafluorometà, es considera un compost inorgànic. S'utilitza en el procés de gravat per plasma de diversos circuits integrats, i també s'utilitza com a gas làser i refrigerant. És relativament estable a temperatura i pressió normals, però cal evitar el contacte amb oxidants forts, materials inflamables o combustibles. El tetrafluorur de carboni és un gas no combustible. Si es troba amb molta calor, farà que la pressió interna del recipient augmenti i hi ha perill d'esquerdes i explosions. Normalment només pot interactuar amb reactiu metàl·lic de sodi-amoníac líquid a temperatura ambient.

tetrafluorur de carboniActualment és el gas de gravat per plasma més utilitzat en la indústria microelectrònica. Es pot utilitzar àmpliament en el gravat de silici, diòxid de silici, vidre de fosfosilicat i altres materials de pel·lícula fina, neteja de la superfície de dispositius electrònics, producció de cèl·lules solars, tecnologia làser, aïllament en fase gasosa, refrigeració a baixa temperatura, agents de detecció de fuites i detergents en la producció de circuits impresos, amb un gran nombre d'aplicacions.