Què és el tetrafluorur de carboni? De què serveix?

Què éstetrafluorur de carboni? De què serveix?

Tetrafluorur de carboni, també conegut com a tetrafluorometà, es considera un compost inorgànic. S'utilitza en el procés de gravat de plasma de diversos circuits integrats i també s'utilitza com a gas làser i refrigerant. És relativament estable sota temperatura i pressió normals, però és necessari evitar el contacte amb oxidants forts, materials inflamables o combustibles. El tetrafluorur de carboni és un gas no combustible. Si es troba amb calor elevada, farà que la pressió interna del contenidor augmenti i hi ha el perill d’esquerdament i explosió. Normalment només pot interactuar amb un reactiu metàl·lic amb amoníac líquid a temperatura ambient.

Tetrafluorur de carboniActualment és el gas de gravat de plasma més gran utilitzat en la indústria de la microelectrònica. Es pot utilitzar àmpliament en el gravat de silici, diòxid de silici, vidre fosfosilicat i altres materials de pel·lícula prima, netejant la superfície dels dispositius electrònics, la producció de cèl·lules solars, la tecnologia làser, l’aïllament en fase gasosa, la refrigeració de temperatura baixa, els agents de detecció de fuites i els detergents en la producció de circuit impresos tenen una gran quantitat d’aplicacions.