Electrònicagasos especialssón una branca important dels gasos especials. Penetren gairebé tots els enllaços de la producció de semiconductors i són matèries primeres indispensables per a la producció d'indústries electròniques, com ara circuits integrats a gran escala, dispositius de pantalla plana i cèl·lules solars.

En la tecnologia dels semiconductors, els gasos que contenen fluor s'utilitzen àmpliament. Actualment, al mercat global del gas electrònic, els gasos electrònics que contenen fluor representen al voltant del 30% del total. Els gasos electrònics que contenen fluor són un component important dels gasos electrònics especials en el camp dels materials d'informació electrònica. S'utilitzen principalment com a agents de neteja i de gravat, i també es poden utilitzar com a dopants, materials pel·lícules, etc. En aquest article, l'autor us portarà a entendre els gasos habituals que contenen fluor.

Els següents gasos que contenen fluor s'utilitzen habitualment

Trifluorur de nitrogen (NF3): gas utilitzat per netejar i eliminar dipòsits, normalment utilitzat per netejar les cambres de reacció i les superfícies dels equips.

Hexafluorur de sofre (SF6): Agent fluorat utilitzat en processos de deposició d'òxids i com a gas aïllant per omplir medis aïllants.

Fluorur d'hidrogen (HF): S'utilitza per eliminar òxids de la superfície de silici i com a gravador per gravar silici i altres materials.

Fluorur de nitrogen (NF): S'utilitza per gravar materials com el nitrur de silici (SiN) i el nitrur d'alumini (AlN).

Trifluorometà (CHF3) itetrafluorometà (CF4): S'utilitza per gravar materials de fluorur com ara fluorur de silici i fluorur d'alumini.

Tanmateix, els gasos que contenen fluor tenen certs perills, com ara la toxicitat, la corrosivitat i la inflamabilitat.

Toxicitat

Alguns gasos que contenen fluor són tòxics, com el fluorur d'hidrogen (HF), el vapor del qual és molt irritant per a la pell i les vies respiratòries i perjudicial per a la salut humana.

Corrosivitat

El fluorur d'hidrogen i alguns fluorurs són altament corrosius i poden causar danys greus a la pell, els ulls i les vies respiratòries.

Inflamabilitat

Alguns fluorurs són inflamables i reaccionen amb l'oxigen o l'aigua de l'aire per alliberar calor intensa i gasos tòxics, que poden provocar incendi o explosió.

Perill d'alta pressió

Alguns gasos fluorats són explosius a alta pressió i requereixen una cura especial quan s'utilitzen i s'emmagatzemen.

Impacte en el medi ambient

Els gasos que contenen fluor tenen una vida atmosfèrica i uns valors de GWP elevats, que tenen un efecte destructiu sobre la capa d'ozó atmosfèric i poden provocar l'escalfament global i la contaminació ambiental.

L'aplicació de gasos en camps emergents com l'electrònica continua aprofundint, generant una gran quantitat de nova demanda de gasos industrials. A partir de la gran quantitat de nova capacitat de producció dels principals components electrònics, com ara semiconductors i panells de visualització a la Xina continental durant els propers anys, així com la forta demanda de substitució d'importació de materials químics electrònics, la indústria nacional del gas electrònic introduirà una taxa de creixement elevada.