Electrònicgasos especialssón una branca important dels gasos especials. Penetren en gairebé tots els enllaços de la producció de semiconductors i són matèries primeres indispensables per a la producció d'indústries electròniques com ara circuits integrats a ultragran escala, dispositius de pantalla plana i cèl·lules solars.

En la tecnologia dels semiconductors, els gasos que contenen fluor s'utilitzen àmpliament. Actualment, al mercat mundial de gasos electrònics, els gasos electrònics que contenen fluor representen aproximadament el 30% del total. Els gasos electrònics que contenen fluor són un component important dels gasos electrònics especials en el camp dels materials d'informació electrònica. S'utilitzen principalment com a agents de neteja i agents de gravat, i també es poden utilitzar com a dopants, materials formadors de pel·lícules, etc. En aquest article, l'autor us portarà a comprendre els gasos que contenen fluor comuns.

Els següents són els gasos que contenen fluor que s'utilitzen habitualment

Trifluorur de nitrogen (NF3): gas que s'utilitza per netejar i eliminar dipòsits, generalment per netejar cambres de reacció i superfícies d'equips.

Hexafluorur de sofre (SF6)Un agent fluorant utilitzat en processos de deposició d'òxid i com a gas aïllant per omplir medis aïllants.

Fluorur d'hidrogen (HF): s'utilitza per eliminar òxids de la superfície del silici i com a gravant per gravar silici i altres materials.

Fluorur de nitrogen (NF): S'utilitza per gravar materials com el nitrur de silici (SiN) i el nitrur d'alumini (AlN).

Trifluorometà (CHF3) itetrafluorometà (CF4)S'utilitza per gravar materials fluorats com el fluorur de silici i el fluorur d'alumini.

Tanmateix, els gasos que contenen fluor presenten certs perills, com ara la toxicitat, la corrosivitat i la inflamabilitat.

Toxicitat

Alguns gasos que contenen fluor són tòxics, com ara el fluorur d'hidrogen (HF), el vapor del qual és altament irritant per a la pell i les vies respiratòries i perjudicial per a la salut humana.

Corrosivitat

El fluorur d'hidrogen i alguns fluorurs són altament corrosius i poden causar danys greus a la pell, els ulls i les vies respiratòries.

Inflamabilitat

Alguns fluorurs són inflamables i reaccionen amb l'oxigen o l'aigua de l'aire per alliberar calor intensa i gasos tòxics, que poden causar incendis o explosions.

Perill d'alta pressió

Alguns gasos fluorats són explosius a alta pressió i requereixen una cura especial durant l'ús i l'emmagatzematge.

Impacte sobre el medi ambient

Els gasos que contenen fluor tenen vides atmosfèriques i valors de GWP elevats, que tenen un efecte destructiu sobre la capa d'ozó atmosfèric i poden causar escalfament global i contaminació ambiental.

L'aplicació de gasos en camps emergents com l'electrònica continua aprofundint-se, cosa que genera una gran quantitat de nova demanda de gasos industrials. A partir de la gran quantitat de nova capacitat de producció dels principals components electrònics com ara semiconductors i panells de visualització a la Xina continental en els propers anys, així com la forta demanda de substitució d'importacions de materials químics electrònics, la indústria nacional del gas electrònic marcarà el començament d'una alta taxa de creixement.