Electrònicgasos especialssón una branca important dels gasos especials. Penetren gairebé tots els enllaços de la producció de semiconductors i són matèries primeres indispensables per a la producció d’indústries electròniques com ara circuits integrats a escala ultra-gran, dispositius de visualització de panells plans i cèl·lules solars.

En la tecnologia de semiconductors, s’utilitzen àmpliament gasos que contenen fluor. Actualment, al mercat global de gasos electrònics, els gasos electrònics que contenen fluor representen al voltant del 30% del total. Els gasos electrònics que contenen fluor són un component important dels gasos electrònics especials en el camp dels materials d'informació electrònica. S’utilitzen principalment com a agents de neteja i agents de gravat i també es poden utilitzar com a dopants, materials formadors de pel·lícules, etc. En aquest article, l’autor us portarà a comprendre els gasos comuns que contenen fluor.

A continuació, s'utilitzen els gasos que contenen fluor

Trifluorur de nitrogen (NF3): un gas utilitzat per netejar i eliminar dipòsits, normalment utilitzat per netejar les cambres de reacció i les superfícies dels equips.

Sulfur Hexafluoride (SF6): Un agent fluorós utilitzat en els processos de deposició d'òxids i com a gas aïllant per omplir els suports aïllants.

Fluorur d’hidrogen (HF): s’utilitza per eliminar els òxids de la superfície del silici i com a gravat per gravar silici i altres materials.

Fluorur de nitrogen (NF): utilitzat per gravar materials com el nitrur de silici (SIN) i el nitrur d’alumini (ALN).

Trifluorometà (CHF3) iTetrafluoromethane (CF4): S'utilitza per gravar materials de fluor com el fluorur de silici i el fluor d'alumini.

No obstant això, els gasos que contenen fluor tenen certs perills, inclosos la toxicitat, la corrosivitat i la inflamabilitat.

Toxicitat

Alguns gasos que contenen fluor són tòxics, com el fluorur d’hidrogen (HF), el vapor del qual és altament irritant per a la pell i les vies respiratòries i perjudicial per a la salut humana.

Corrosivitat

El fluorur d’hidrogen i alguns fluorurs són altament corrosius i poden causar danys greus a la pell, els ulls i les vies respiratòries.

Inflamabilitat

Alguns fluorurs són inflamables i reaccionen amb oxigen o aigua a l’aire per alliberar calor intensa i gasos tòxics, cosa que pot causar incendi o explosió.

Perill a alta pressió

Alguns gasos fluorats són explosius a alta pressió i requereixen una cura especial quan s’utilitzen i s’emmagatzemen.

Impacte sobre el medi ambient

Els gasos que contenen fluor tenen altes vides atmosfèriques i valors de GWP, que tenen un efecte destructiu sobre la capa d’ozó atmosfèrica i poden provocar l’escalfament global i la contaminació ambiental.

L’aplicació de gasos en camps emergents com l’electrònica continua aprofundint, aportant una gran quantitat de nova demanda de gasos industrials. A partir de la gran quantitat de nova capacitat de producció de components electrònics principals com els semiconductors i panells de visualització a la Xina continental en els pròxims anys, així com la forta demanda de substitució d’importacions de materials químics electrònics, la indústria del gas electrònic domèstic es produirà en una taxa de creixement elevada.