L’hexafluorur de tungstè (WF6) es diposita a la superfície de l’hòstia mitjançant un procés de CVD, omplint les trinxeres d’interconnexió metàl·lica i formant la interconnexió metàl·lica entre capes.
Parlem primer del plasma. El plasma és una forma de matèria composta principalment per electrons lliures i ions carregats. Existeix àmpliament a l’univers i sovint es considera el quart estat de la matèria. S'anomena estat de plasma, també anomenat "plasma". El plasma té una alta conductivitat elèctrica i té un fort efecte d’acoblament amb el camp electromagnètic. És un gas parcialment ionitzat, compost per electrons, ions, radicals lliures, partícules neutres i fotons. El plasma en si és una barreja elèctricament neutra que conté partícules actives físicament i químicament.
L’explicació senzilla és que, sota l’acció de l’alta energia, la molècula superarà la força de van der Waals, la força d’enllaç químic i la força de coulomb i presentarà una forma d’electricitat neutra en general. Al mateix temps, l’alta energia impartida per l’exterior supera les tres forces anteriors. La funció, els electrons i els ions presenten un estat lliure, que es pot utilitzar artificialment sota la modulació d’un camp magnètic, com ara el procés de gravat de semiconductors, el procés de CVD, el PVD i el procés IMP.
Què és l’alta energia? En teoria, es pot utilitzar tant RF de temperatura alta com alta freqüència. En general, la temperatura alta és gairebé impossible d’aconseguir. Aquest requisit de temperatura és massa alt i pot estar a prop de la temperatura del sol. Bàsicament és impossible d’aconseguir en el procés. Per tant, la indústria sol utilitzar RF d’alta freqüència per aconseguir-ho. El plasma RF pot arribar fins a 13MHz+.
L’hexafluorur de tungstè està plasmaitzat sota l’acció d’un camp elèctric i, a continuació, el vapor dipositat per un camp magnètic. Els àtoms de W són similars a les plomes d'oca d'hivern i cauen a terra sota l'acció de la gravetat. Lentament, els àtoms W es dipositen als forats a través i finalment s’omplen a través de forats per formar interconnexions metàl·liques. A més de dipositar àtoms de W als forats, també seran dipositats a la superfície de la hòstia? Sí, definitivament. En general, podeu utilitzar el procés W-CMP, que és el que anomenem el procés de mòlta mecànica per eliminar. És similar a utilitzar una escombra per escombrar el terra després de la forta neu. La neu a terra és arrasada, però la neu al forat del terra romandrà. Cap avall, aproximadament el mateix.
Posada Post: 24-2021 de desembre
