L'hexafluorur de tungstè (WF6) es diposita a la superfície de l'oblea mitjançant un procés CVD, omplint les trinxeres d'interconnexió metàl·lica i formant la interconnexió metàl·lica entre les capes.
Parlem primer del plasma. El plasma és una forma de matèria composta principalment per electrons lliures i ions carregats. Existeix àmpliament a l'univers i sovint es considera el quart estat de la matèria. S'anomena estat de plasma, també anomenat "plasma". El plasma té una alta conductivitat elèctrica i té un fort efecte d'acoblament amb el camp electromagnètic. És un gas parcialment ionitzat, compost d'electrons, ions, radicals lliures, partícules neutres i fotons. El plasma en si és una mescla elèctricament neutra que conté partícules física i químicament actives.
L'explicació senzilla és que sota l'acció d'una alta energia, la molècula superarà la força de van der Waals, la força d'enllaç químic i la força de Coulomb, i presentarà una forma d'electricitat neutra en conjunt. Al mateix temps, l'alta energia impartida per l'exterior supera les tres forces anteriors. Funcionen els electrons i els ions presentant un estat lliure, que es pot utilitzar artificialment sota la modulació d'un camp magnètic, com ara el procés de gravat de semiconductors, el procés CVD, el procés PVD i el procés IMP.
Què és l'alta energia? En teoria, es pot utilitzar tant RF d'alta temperatura com d'alta freqüència. En general, és gairebé impossible aconseguir una temperatura alta. Aquest requisit de temperatura és massa alt i pot ser proper a la temperatura del sol. És bàsicament impossible d'aconseguir en el procés. Per tant, la indústria sol utilitzar RF d'alta freqüència per aconseguir-ho. La RF de plasma pot arribar a més de 13 MHz.
L'hexafluorur de tungstè es plasma sota l'acció d'un camp elèctric i després es diposita en forma de vapor mitjançant un camp magnètic. Els àtoms de W són similars a les plomes d'oca d'hivern i cauen a terra sota l'acció de la gravetat. Lentament, els àtoms de W es dipositen als forats i finalment s'omplen completament per formar interconnexions metàl·liques. A més de dipositar àtoms de W als forats, també es dipositaran a la superfície de l'oblia? Sí, sens dubte. En general, podeu utilitzar el procés W-CMP, que és el que anomenem procés de mòlta mecànica, per eliminar-lo. És similar a utilitzar una escombra per escombrar el terra després d'una forta nevada. La neu a terra s'escombra, però la neu del forat a terra romandrà. A baix, aproximadament el mateix.
Data de publicació: 24 de desembre de 2021
