L'hexafluorur de tungstè (WF6) es diposita a la superfície de l'hòstia mitjançant un procés CVD, omplint les rases d'interconnexió metàl·lica i formant la interconnexió metàl·lica entre les capes.
Parlem primer del plasma. El plasma és una forma de matèria composta principalment per electrons lliures i ions carregats. Existeix àmpliament a l'univers i sovint es considera el quart estat de la matèria. S'anomena estat de plasma, també anomenat "plasma". El plasma té una alta conductivitat elèctrica i té un fort efecte d'acoblament amb el camp electromagnètic. És un gas parcialment ionitzat, compost per electrons, ions, radicals lliures, partícules neutres i fotons. El plasma en si és una mescla elèctricament neutra que conté partícules físicament i químicament actives.
L'explicació senzilla és que sota l'acció de l'alta energia, la molècula superarà la força de van der Waals, la força d'enllaç químic i la força de Coulomb, i presentarà una forma d'electricitat neutra en el seu conjunt. Al mateix temps, l'alta energia impartida per l'exterior supera les tres forces anteriors. La funció, els electrons i els ions presenten un estat lliure, que es pot utilitzar artificialment sota la modulació d'un camp magnètic, com ara el procés de gravat de semiconductors, el procés CVD, el procés PVD i el procés IMP.
Què és l'alta energia? En teoria, es poden utilitzar tant RF d'alta temperatura com d'alta freqüència. En termes generals, la temperatura alta és gairebé impossible d'aconseguir. Aquest requisit de temperatura és massa alt i pot estar a prop de la temperatura del sol. Bàsicament és impossible d'aconseguir en el procés. Per tant, la indústria sol utilitzar RF d'alta freqüència per aconseguir-ho. La RF de plasma pot arribar als 13MHz+.
L'hexafluorur de tungstè es plasma sota l'acció d'un camp elèctric i després es diposita en vapor mitjançant un camp magnètic. Els àtoms W són semblants a les plomes d'oca d'hivern i cauen a terra sota l'acció de la gravetat. Lentament, els àtoms de W es dipositen als forats passants i, finalment, s'omplen els forats passants per formar interconnexions metàl·liques. A més de dipositar àtoms de W als forats passants, també es dipositaran a la superfície de l'hòstia? Sí, definitivament. En termes generals, podeu utilitzar el procés W-CMP, que és el que anomenem procés de mòlta mecànica per eliminar. És semblant a utilitzar una escombra per escombrar el terra després de nevar intensa. La neu a terra s'emporta, però la neu al forat a terra es mantindrà. A baix, aproximadament el mateix.
Hora de publicació: 24-12-2021
