El 2018, el mercat mundial de gas electrònic per a circuits integrats va assolir els 4.512 milions de dòlars, un augment interanual del 16%. L'elevada taxa de creixement de la indústria electrònica de gas especial per a semiconductors i l'enorme mida del mercat han accelerat el pla de substitució nacional de gas especial electrònic!
Què és el gas electrònic?
El gas electrònic es refereix al material d'origen bàsic utilitzat en la producció de semiconductors, pantalles de pantalla plana, díodes emissors de llum, cèl·lules solars i altres productes electrònics, i s'utilitza àmpliament en la neteja, gravat, formació de pel·lícules, dopatge i altres processos. Les principals àrees d'aplicació del gas electrònic inclouen la indústria electrònica, les cèl·lules solars, les comunicacions mòbils, la navegació per a cotxes i els sistemes d'àudio i vídeo de cotxes, aeroespacial, indústria militar i molts altres camps.
El gas especial electrònic es pot dividir en set categories segons la seva pròpia composició química: silici, arsènic, fòsfor, bor, hidrur metàl·lic, halogenur i alcòxid metàl·lic. Segons diferents mètodes d'aplicació en circuits integrats, es pot dividir en gas dopatge, gas epitàxia, gas d'implantació d'ions, gas de díode emissor de llum, gas de gravat, gas de deposició de vapor químic i gas d'equilibri. Hi ha més de 110 unitats de gasos especials utilitzats a la indústria dels semiconductors, dels quals més de 30 s'utilitzen habitualment.
En general, la indústria de producció de semiconductors divideix els gasos en dos tipus: gasos comuns i gasos especials. Entre ells, el gas d'ús comú fa referència a un subministrament centralitzat i utilitza una gran quantitat de gas, com ara N2, H2, O2, Ar, He, etc. El gas especial es refereix a alguns gasos químics utilitzats en el procés de producció de semiconductors, com ara extensió, injecció d'ions, barreja, rentat i formació de màscara, que és el que ara anomenem gas especial electrònic, com ara SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O d'alta puresa, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
En tot el procés de producció de la indústria dels semiconductors, des del creixement dels xips fins a l'embalatge final del dispositiu, gairebé tots els enllaços són inseparables del gas especial electrònic i la varietat de gas utilitzat i els requisits d'alta qualitat, de manera que el gas electrònic té materials semiconductors. “Menjar”.
En els darrers anys, els components electrònics principals de la Xina, com ara els semiconductors i els panells de visualització, han augmentat en una nova capacitat de producció i hi ha una forta demanda de substitució d'importació de materials químics electrònics. La posició dels gasos electrònics a la indústria dels semiconductors ha esdevingut cada cop més destacada. La indústria nacional del gas electrònic marcarà el començament d'un ràpid creixement.
El gas especial electrònic té requisits molt alts de puresa, ja que si la puresa no s'ajusta als requisits, els grups d'impureses com el vapor d'aigua i l'oxigen del gas especial electrònic formaran fàcilment una pel·lícula d'òxid a la superfície del semiconductor, que afectarà el vida útil dels dispositius electrònics i el gas especial electrònic conté Les partícules d'impureses poden causar curtcircuits de semiconductors i danys al circuit. Es pot dir que la millora de la puresa té un paper vital en el rendiment i el rendiment de la producció de dispositius electrònics.
Amb el desenvolupament continu de la indústria dels semiconductors, el procés de fabricació de xips continua millorant, i ara ha arribat als 5 nm, que està a punt d'apropar-se al límit de la Llei de Moore, que equival a una vintena part del diàmetre d'un cabell humà ( uns 0,1 mm). Per tant, això també planteja requisits més elevats sobre la puresa del gas especial electrònic produït pels semiconductors.
Hora de publicació: 15-12-2021
