El 2018, el mercat mundial de gas electrònic per a circuits integrats va arribar als 4.512 milions de dòlars, un augment interanual del 16%. L'alta taxa de creixement de la indústria de gasos especials electrònics per a semiconductors i l'enorme mida del mercat han accelerat el pla de substitució nacional de gasos especials electrònics!
Què és el gas d'electrons?
El gas electrònic fa referència al material bàsic utilitzat en la producció de semiconductors, pantalles planes, díodes emissors de llum, cèl·lules solars i altres productes electrònics, i s'utilitza àmpliament en la neteja, el gravat, la formació de pel·lícules, el dopatge i altres processos. Les principals àrees d'aplicació del gas electrònic inclouen la indústria electrònica, les cèl·lules solars, les comunicacions mòbils, la navegació per a cotxes i els sistemes d'àudio i vídeo per a cotxes, l'aeroespacial, la indústria militar i molts altres camps.
Els gasos especials electrònics es poden dividir en set categories segons la seva composició química: silici, arsènic, fòsfor, bor, hidrur metàl·lic, halogenur i alcòxid metàl·lic. Segons els diferents mètodes d'aplicació en circuits integrats, es poden dividir en gasos de dopatge, gasos d'epitaxial, gasos d'implantació iònica, gasos de díodes emissors de llum, gasos de gravat, gasos de deposició química de vapor i gasos d'equilibri. Hi ha més de 110 gasos especials unitaris utilitzats a la indústria dels semiconductors, dels quals més de 30 s'utilitzen habitualment.
Generalment, la indústria de producció de semiconductors divideix els gasos en dos tipus: gasos comuns i gasos especials. Entre ells, el gas d'ús comú fa referència a un subministrament centralitzat i utilitza molt de gas, com ara N2, H2, O2, Ar, He, etc. El gas especial fa referència a alguns gasos químics utilitzats en el procés de producció de semiconductors, com ara l'extensió, la injecció d'ions, la barreja, el rentat i la formació de màscares, que és el que ara anomenem gas especial electrònic, com ara SiH4 d'alta puresa, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
En tot el procés de producció de la indústria dels semiconductors, des del creixement del xip fins a l'embalatge final del dispositiu, gairebé tots els enllaços són inseparables del gas especial electrònic, i la varietat de gas utilitzat i els requisits d'alta qualitat, de manera que el gas electrònic té materials semiconductors. "Aliments".
En els darrers anys, els principals components electrònics de la Xina, com ara semiconductors i panells de visualització, han augmentat en nova capacitat de producció, i hi ha una forta demanda de substitució d'importacions de materials químics electrònics. La posició dels gasos electrònics a la indústria dels semiconductors s'ha tornat cada cop més destacada. La indústria nacional del gas electrònic marcarà el començament d'un ràpid creixement.
El gas especial electrònic té uns requisits de puresa molt elevats, ja que si la puresa no compleix els requisits, els grups d'impureses com el vapor d'aigua i l'oxigen del gas especial electrònic formaran fàcilment una pel·lícula d'òxid a la superfície del semiconductor, cosa que afecta la vida útil dels dispositius electrònics. Les partícules d'impureses del gas especial electrònic poden causar curtcircuits i danys als circuits dels semiconductors. Es pot dir que la millora de la puresa juga un paper vital en el rendiment i el rendiment de la producció de dispositius electrònics.
Amb el desenvolupament continu de la indústria dels semiconductors, el procés de fabricació de xips continua millorant, i ara ha arribat als 5 nm, cosa que s'acosta al límit de la llei de Moore, que equival a una vintena part del diàmetre d'un cabell humà (uns 0,1 mm). Per tant, això també imposa uns requisits més alts pel que fa a la puresa del gas especial electrònic produït pels semiconductors.
Data de publicació: 15 de desembre de 2021
