El 2018, el mercat global de gasos electrònics dels circuits integrats va arribar a 4.512 milions de dòlars americans, un augment interanual del 16%. L’elevada taxa de creixement de la indústria electrònica especial del gas per als semiconductors i l’enorme mida del mercat han accelerat el pla de substitució nacional del gas especial electrònic!
Què és el gas d’electrons?
El gas electrònic es refereix al material font bàsic utilitzat en la producció de semiconductors, pantalles de panells plans, díodes emissors de llum, cèl·lules solars i altres productes electrònics, i s’utilitza àmpliament en la neteja, gravat, formació de pel·lícules, dopatge i altres processos. Les principals àrees d'aplicació de gas electrònic inclouen la indústria de l'electrònica, les cèl·lules solars, les comunicacions mòbils, la navegació de vehicles i els sistemes d'àudio i vídeo de vehicles, aeroespacial, indústria militar i molts altres camps.
El gas especial electrònic es pot dividir en set categories segons la seva pròpia composició química: silici, arsènic, fòsfor, bor, hidrur de metall, halogenur i alcoxid metàl·lic. Segons diferents mètodes d’aplicació en circuits integrats, es pot dividir en gas dopatge, gas d’epitaxia, gas d’implantació d’ions, gas díode emissor de llum, gravat gas, deposició de vapor químic i gas equilibri. Hi ha més de 110 gasos especials que s’utilitzen a la indústria de semiconductors, dels quals s’utilitzen més de 30.
Generalment, la indústria de la producció de semiconductors divideix els gasos en dos tipus: gasos comuns i gasos especials. Entre ells, el gas que s’utilitza habitualment es refereix a un subministrament centralitzat i utilitza molts gas, com ara N2, H2, O2, AR, HE, etc. El gas especial es refereix a alguns gasos químics utilitzats en el procés de producció de semiconductors, com ara extensió, injecció d’ions, barreja, rentada i formació de màscar NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, etc.
En tot el procés de producció de la indústria de semiconductors, des del creixement del xip fins als envasos finals del dispositiu, gairebé tots els enllaços són inseparables de gas especial electrònic i la varietat de gas utilitzats i requisits d’alta qualitat, de manera que el gas electrònic té materials semiconductors. “Menjar”.
En els darrers anys, els components electrònics principals de la Xina com els semiconductors i els panells de visualització han augmentat en la nova capacitat de producció i hi ha una forta demanda de substitució d’importacions de materials químics electrònics. La posició dels gasos electrònics a la indústria dels semiconductors ha esdevingut cada cop més destacada. La indústria del gas electrònic domèstic generarà un ràpid creixement.
El gas especial electrònic té requisits molt elevats per a la puresa, ja que si la puresa no està a l’altura dels requisits, els grups d’impuresa com el vapor d’aigua i l’oxigen en el gas especial electrònic formaran fàcilment la pel·lícula d’òxid a la superfície del semiconductor, que afecta la vida útil dels dispositius electrònics i els gas especials electrònics conté les partícules d’impuritats, que poden causar circuits curts de semiconductor. Es pot dir que la millora de la puresa té un paper vital en el rendiment i el rendiment de la producció electrònica de dispositius.
Amb el desenvolupament continu de la indústria de semiconductors, el procés de fabricació de xips continua millorant, i ara ha arribat a 5nm, que està a punt d’abordar el límit de la llei de Moore, que equival a una dècada del diàmetre d’un pèl humà (aproximadament 0,1 mm). Per tant, això també fa requisits més elevats sobre la puresa del gas especial electrònic produït per semiconductors.
Posada Posada: 15-2021 de desembre
