Clorur d’hidrogenés un gas incolor amb una olor punxent. La seva solució aquosa s’anomena àcid clorhídric, també conegut com a àcid clorhídric. El clorur d’hidrogen és molt soluble en aigua. A 0 ° C, 1 volum d’aigua pot dissoldre uns 500 volums de clorur d’hidrogen.

Té les següents propietats i característiques:

1. Alta puresa

La puresa de la nota electrònicaclorur d’hidrogenés molt elevat, normalment a PPM o nivell inferior, per assegurar -se que no s’introdueixen impureses al procés de fabricació de semiconductors.

2. Inertesa

Es tracta d’un gas químicament inert que no reacciona amb moltes altres substàncies, cosa que és molt important per evitar la contaminació de materials i equips de semiconductors.

3. Alta estabilitat

Grau electrònicclorur d’hidrogenGeneralment té una química estable per assegurar un processament fiable de semiconductors.

En el processament de semiconductors, les principals aplicacions del clorur d’hidrogen de grau electrònic inclouen:

1. Neteja i preparació de superfície

Com a netejador de superfície eficient, de grau electrònicclorur d’hidrogens'utilitza per eliminar els òxids i les impureses de la superfície del substrat per assegurar la qualitat i la puresa de la capa o pel·lícula epitaxial.

2. Ajuda al creixement epitaxial

S'utilitza com a agent de tractament de superfície en el procés epitaxial, ajuda a millorar la qualitat de la capa epitaxial, millorar la coincidència de gelosia i reduir la formació de defectes de gelosia.

3. Pretractament del substrat

Abans de la preparació de dispositius semiconductors, grau electrònicclorur d’hidrogenEs pot utilitzar per tractar la superfície del substrat per formar una base estable per millorar l'adhesió entre la capa epitaxial i el substrat.

4. Agent auxiliar de deposició

En el procés de deposició de vapor químic (CVD) o deposició de vapor físic (PVD), el clorur d’hidrogen de grau electrònic es pot utilitzar com a medi de transferència de fase gasosa per participar en la reacció de deposició de materials semiconductors.

5. Agent de transferència en fase de gas

Com a agent de transferència en fase de gas, altres precursors gasosos s’introdueixen a la cambra de reacció per ajudar a ajustar la velocitat de deposició i la uniformitat del material.

Aquestes característiques fan de grau electrònicclorur d’hidrogenUn important agent de processament de la tecnologia de semiconductors, que té un impacte clau en el rendiment i la fiabilitat del dispositiu final.

A més del seu ús en el processament de semiconductors, el clorur d’hidrogen de grau electrònic pot trobar diversos usos en altres àrees, incloent: preparació de materials d’alta puresa, piles de combustible, creixement de materials semiconductors, litografia en fase de vapor, anàlisi de materials, investigació química.

En general, de grau electrònicclorur d’hidrogenés un gas versàtil i d’alta puresa que té una àmplia gamma d’aplicacions fora de la fabricació de semiconductors.