clorur d'hidrogenés un gas incolor amb una olor acre. La seva solució aquosa s'anomena àcid clorhídric, també conegut com a àcid clorhídric. El clorur d'hidrogen és molt soluble en aigua. A 0 °C, 1 volum d'aigua pot dissoldre uns 500 volums de clorur d'hidrogen.

Té les següents propietats i característiques:

1. Alta puresa

La puresa del grau electrònicclorur d'hidrogenés molt alt, normalment a ppm o a un nivell inferior, per garantir que no s'introdueixin impureses en el procés de fabricació de semiconductors.

2. Inercia

És un gas químicament inert que no reacciona amb moltes altres substàncies, cosa que és molt important per evitar la contaminació de materials i equips semiconductors.

3. Alta estabilitat

Grau electrònicclorur d'hidrogengeneralment té una química estable per garantir un processament fiable dels semiconductors.

En el processament de semiconductors, les principals aplicacions del clorur d'hidrogen de grau electrònic inclouen:

1. Neteja i preparació de superfícies

Com a netejador de superfícies eficient, de grau electrònicclorur d'hidrogens'utilitza per eliminar òxids i impureses de la superfície del substrat per garantir la qualitat i la puresa de la capa o pel·lícula epitaxial.

2. Ajuda al creixement epitaxial

Utilitzat com a agent de tractament de superfícies en el procés epitaxial, ajuda a millorar la qualitat de la capa epitaxial, millorar la coincidència de la xarxa i reduir la formació de defectes de xarxa.

3. Pretractament del substrat

Abans de la preparació de dispositius semiconductors, de grau electrònicclorur d'hidrogenes pot utilitzar per tractar la superfície del substrat per formar una base estable per millorar l'adhesió entre la capa epitaxial i el substrat.

4. Agent auxiliar de deposició

En el procés de deposició química de vapor (CVD) o deposició física de vapor (PVD), el clorur d'hidrogen de grau electrònic es pot utilitzar com a medi de transferència en fase gasosa per participar en la reacció de deposició de materials semiconductors.

5. Agent de transferència en fase gasosa

Com a agent de transferència en fase gasosa, s'introdueixen altres precursors gasosos a la cambra de reacció per ajudar a ajustar la velocitat de deposició i la uniformitat del material.

Aquestes característiques fan que el grau electrònic siguiclorur d'hidrogenun agent de processament important en la tecnologia dels semiconductors, que té un impacte clau en el rendiment i la fiabilitat del dispositiu final.

A més del seu ús en el processament de semiconductors, el clorur d'hidrogen de grau electrònic pot trobar una varietat d'usos en altres àrees, com ara: preparació de materials d'alta puresa, piles de combustible, creixement de materials semiconductors, litografia en fase de vapor, anàlisi de materials i recerca química.

En general, grau electrònicclorur d'hidrogenés un gas versàtil i d'alta puresa que té una àmplia gamma d'aplicacions fora de la fabricació de semiconductors.