Triclorur de Bor (BCL3)és un compost inorgànic que s’utilitza habitualment en els processos de gravat sec i de deposició de vapor químic (CVD) en la fabricació de semiconductors. És un gas incolor amb una forta olor punxent a temperatura ambient i és sensible a l’aire humit perquè hidrolitza per produir àcid clorhídric i àcid bòric.

Aplicacions de triclorur de bor

A la indústria dels semiconductors,Triclorur de borS'utilitza principalment per a gravat en sec d'alumini i com a dopant per formar regions de tipus P en hòsties de silici. També es pot utilitzar per gravar materials com GaaS, SI, ALN i com a font de bor en determinades aplicacions específiques. A més, el triclorur de bore s’utilitza àmpliament en el processament de metalls, la indústria del vidre, l’anàlisi química i la investigació de laboratori.

Seguretat del triclorur de Boron

Triclorur de borés corrosiu i tòxic i pot causar danys greus als ulls i a la pell. Hidrolitza a l’aire humit per alliberar gas de clorur d’hidrogen tòxic. Per tant, cal prendre mesures de seguretat adequades quan es manipuliTriclorur de bor, incloent-hi roba de protecció, ulleres i equips de protecció respiratòria i operar en un entorn ben ventilat.