Triclorur de bor (BCl3)és un compost inorgànic que s'utilitza habitualment en processos de gravat en sec i deposició química de vapor (CVD) en la fabricació de semiconductors. És un gas incolor amb una forta olor acre a temperatura ambient i és sensible a l'aire humit perquè s'hidrolitza per produir àcid clorhídric i àcid bòric.

Aplicacions del triclorur de bor

A la indústria dels semiconductors,Triclorur de bors'utilitza principalment per al gravat en sec d'alumini i com a dopant per formar regions de tipus P en oblies de silici. També es pot utilitzar per gravar materials com GaAs, Si, AlN i com a font de bor en certes aplicacions específiques. A més, el triclorur de bor s'utilitza àmpliament en el processament de metalls, la indústria del vidre, l'anàlisi química i la recerca de laboratori.

Seguretat del triclorur de bor

Triclorur de borés corrosiu i tòxic i pot causar danys greus als ulls i a la pell. S'hidrolitza en aire humit per alliberar gas clorur d'hidrogen tòxic. Per tant, cal prendre mesures de seguretat adequades durant la manipulació.Triclorur de bor, incloent-hi l'ús de roba protectora, ulleres de protecció i equips de protecció respiratòria, i treballar en un entorn ben ventilat.