Gas CF4 d'alta puresa de la Xina de recent arribada per a gravat de la indústria de semiconductors

Descripció curta:


Detall del producte

Etiquetes de producte

Creiem en: la innovació és la nostra ànima i l’esperit. La bona qualitat és la nostra vida. El comprador ha de tenir el nostre déu per a la recent arribada a la Xina Gas d'alta puresa CF4 per a gravat de la indústria de semiconductors, fem sincerament tot el possible per oferir el millor servei per a tots els clients i empresaris.
Creiem en: la innovació és la nostra ànima i l’esperit. La bona qualitat és la nostra vida. El comprador ha de tenir el nostre DéuGas refrigerant de la Xina CF4, Cilindre de gas, Ara la competència en aquest camp és molt ferotge; Però encara oferirem la millor qualitat, el preu raonable i el servei més considerat en un esforç per assolir un objectiu guanyador. "Canvieu per millor!" És el nostre eslògan, que significa que "un món millor és davant nostre, així que gaudim!" Canvieu per millor! Esteu a punt?

Paràmetres tècnics

Especificació 99,999%
Oxigen+argon ≤1ppm
Nitrogen ≤4 ppm
Humitat (H2O) ≤3 ppm
HF ≤0.1 ppm
CO ≤0.1 ppm
CO2 ≤1 ppm
SF6 ≤1 ppm
Halocarbynes ≤1 ppm
Impureses totals ≤10 ppm

El tetrafluorur de carboni és un hidrocarbur halogenat amb la fórmula química CF4. Es pot considerar com un hidrocarbur halogenat, metà halogenat, perfluorocarbon o com un compost inorgànic. El tetrafluorur de carboni és un gas incolor i inodor, insoluble en aigua, soluble en benzè i cloroform. Estable sota temperatura i pressió normals, eviteu els oxidants forts, materials inflamables o combustibles. Gas no combustible, la pressió interna del contenidor augmentarà quan s’exposa a calor elevada i hi ha el perill d’esquerdament i explosió. És químicament estable i no inflamable. Només el reactiu metàl·lic d’amoníac líquid pot funcionar a temperatura ambient. El tetrafluorur de carboni és un gas que causa l'efecte hivernacle. És molt estable, pot romandre a l’atmosfera durant molt de temps i és un gas d’efecte hivernacle molt potent. El tetrafluorur de carboni s’utilitza en el procés de gravat plasmàtic de diversos circuits integrats. També s’utilitza com a gas làser i s’utilitza en refrigerants, dissolvents, lubricants, materials aïllants i refrigerants per a detectors d’infrarojos. És el gas de gravat de plasma més utilitzat a la indústria de la microelectrònica. És una barreja de gas de tetrafluorometà d’alta puresa i tetrafluorometan de gas d’alta puresa i oxigen d’alta puresa. Es pot utilitzar àmpliament en silici, diòxid de silici, nitrur de silici i vidre fosfosilicat. El gravat de materials de pel·lícula fina com el tungstè i el tungstè també s’utilitza àmpliament en la neteja superficial de dispositius electrònics, producció de cèl·lules solars, tecnologia làser, refrigeració a baixa temperatura, inspecció de fuites i detergent en la producció de circuit imprès. S'utilitza com a tecnologia de gravat en sec de refrigerant i plasma de baixa temperatura per a circuits integrats. Precaucions per a l'emmagatzematge: emmagatzemeu-lo en un magatzem de gas no combustible i ventilat. Mantingueu -vos allunyats del foc i les fonts de calor. La temperatura d’emmagatzematge no ha de superar els 30 ° C. S’ha d’emmagatzemar per separat de combustibles i oxidants fàcilment (combustibles) i evitar l’emmagatzematge mixt. L’àrea d’emmagatzematge ha d’estar equipada amb equips de tractament d’emergència de fuites.

Aplicació:

① refrigerant:

De vegades, el tetrafluorometà s'utilitza com a refrigerant de baixa temperatura.

  fdrgr greg

② gravat:

S'utilitza només en microfabricació electrònica o en combinació amb oxigen com a gravat plasmàtic per al silici, el diòxid de silici i el nitrur de silici.

dsgre RGG

Paquet normal:

Producte Tetrafluorur de carboni CF4
Mida del paquet Cilindre de 40LTR Cilindre de 50LTR  
Omplint el pes net/cyl 30kgs 38kgs  
Qty carregat a 20'container 250 cilis 250 cilis
Pes net total 7,5 tones 9,5 tones
Pes de cilindre 50kgs 55kgs
Vàlvula CGA 580

Avantatge:

① PURITAT HIGH, darrera instal·lació;

②ISO Fabricant de certificats;

③ Fast lliurament;

Sistema d’anàlisi de la línia per al control de qualitat a cada pas;

⑤ REQUISITIU I PROCÉS MUTICULULA PER A LA GANYALITZACIÓ DEL CILINDRE ABANS de omplir;Creiem en: la innovació és la nostra ànima i l’esperit. La bona qualitat és la nostra vida. El comprador ha de tenir el nostre déu per a la recent arribada a la Xina Gas d'alta puresa CF4 per a gravat de la indústria de semiconductors, fem sincerament tot el possible per oferir el millor servei per a tots els clients i empresaris.
Recentment arribadaGas refrigerant de la Xina CF4, Cilindre de gas, Ara la competència en aquest camp és molt ferotge; Però encara oferirem la millor qualitat, el preu raonable i el servei més considerat en un esforç per assolir un objectiu guanyador. "Canvieu per millor!" És el nostre eslògan, que significa que "un món millor és davant nostre, així que gaudim!" Canvieu per millor! Esteu a punt?


  • Anterior:
  • A continuació:

  • Escriviu el vostre missatge aquí i ens ho envieu