Tetrafluorur de carboni (CF4)

Paràmetres tècnics

El tetrafluorur de carboni és un hidrocarbur halogenat amb la fórmula química CF4. Es pot considerar com un hidrocarbur halogenat, metà halogenat, perfluorocarboni o com un compost inorgànic. El tetrafluorur de carboni és un gas incolor i inodor, insoluble en aigua, soluble en benzè i cloroform. Estable a temperatura i pressió normals, eviteu oxidants forts, materials inflamables o combustibles. Gas no combustible, la pressió interna del recipient augmentarà quan s'exposa a molta calor i hi ha perill d'esquerdament i explosió. És químicament estable i no inflamable. Només el reactiu metàl·lic líquid d'amoníac-sodi pot funcionar a temperatura ambient. El tetrafluorur de carboni és un gas que causa l'efecte hivernacle. És molt estable, pot romandre a l'atmosfera durant molt de temps i és un gas d'efecte hivernacle molt potent. El tetrafluorur de carboni s'utilitza en el procés de gravat per plasma de diversos circuits integrats. També s'utilitza com a gas làser i s'utilitza en refrigerants de baixa temperatura, dissolvents, lubricants, materials aïllants i refrigerants per a detectors d'infrarojos. És el gas de gravat per plasma més utilitzat en la indústria microelectrònica. És una barreja de gas tetrafluorometà d'alta puresa i gas tetrafluorometà d'alta puresa i oxigen d'alta puresa. Es pot utilitzar àmpliament en silici, diòxid de silici, nitrur de silici i vidre de fosfosilicat. El gravat de materials de pel·lícula fina com el tungstè i el tungstè també s'utilitza àmpliament en la neteja de superfícies de dispositius electrònics, la producció de cèl·lules solars, la tecnologia làser, la refrigeració a baixa temperatura, la inspecció de fuites i el detergent en la producció de circuits impresos. S'utilitza com a refrigerant a baixa temperatura i tecnologia de gravat sec per plasma per a circuits integrats. Precaucions per a l'emmagatzematge: emmagatzemar en un magatzem de gas no combustible fresc i ventilat. Mantenir allunyat de fonts de foc i calor. La temperatura d'emmagatzematge no ha de superar els 30 °C. S'ha d'emmagatzemar separat de combustibles i oxidants fàcilment (combustibles) i evitar l'emmagatzematge mixt. La zona d'emmagatzematge ha d'estar equipada amb equips de tractament d'emergència de fuites.

Aplicació:

① Refrigerant:

El tetrafluorometà s'utilitza de vegades com a refrigerant a baixa temperatura.

② Gravat:

S'utilitza en la microfabricació d'electrònica sol o en combinació amb oxigen com a gravador de plasma per a silici, diòxid de silici i nitrur de silici.

Paquet normal:

Avantatge:

①Alta puresa, instal·lació d'última generació;

②Fabricant de certificats ISO;

③Lliurament ràpid;

④Sistema d'anàlisi en línia per al control de qualitat en cada pas;

⑤ Alt requisit i procés meticulós per a la manipulació del cilindre abans d'omplir-lo;